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成功案例 |首台15天交付!格创东智Stocker助力头部12吋晶圆厂自动化物料存储

日期: 2024-09-12 10:52:45
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成功案例 |首台15天交付!格创东智Stocker助力头部12吋晶圆厂自动化物料存储

  随着市场行情的回暖和外部需求的增长,公司产能逐渐提升,现有Stocker晶圆存储立库(以下简称Stocker)的存储量无法满足需求,急需扩充FOUP的存储。

  国内头部半导体存储器制造商★◆★◆,专业从事集成电路内存芯片的设计■■■◆◆★、研发■■■◆★◆、生产和销售◆■■,目前12英寸晶圆厂已建成投产◆★◆■◆■。其在国内外拥有多个研发中心和分支机构,已推出多款不同类型的内存芯片,满足多种应用需求◆◆◆■。

  AMHS主要由OHT空中搬运小车、Stocker晶圆存储立库◆★■■、MCS/OHTC/STKC软件系统等组成。其中Stocker作为AMHS的重要构成◆■★★◆,用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆载具的存储★◆★,可与上位系统进行通讯,实现帐料自动管理★★★★。为客户生产现场减少物料搬运拥堵情况,降低传送周期,管理复杂的批次操作,实现物料高效搬运◆■★。同时确保机台排产充足,为工厂实现Fully Auto提供重要支持★★◆◆■。

  同时由于客户工艺流程复杂、生产过程离散,会使得某些机台在某一段时间内,积累的晶圆比较多◆◆■■,如果是依赖人力搬运,难免出现调度、转运不及时的情况,从而造成瓶颈机台的拥塞以及部分机台运行不饱和◆★★◆。

  作为无尘车间内的临时存储库◆◆◆■★,Stocker可平衡设备及工艺间产能的差异■★,最大程度缩短晶圆在工艺设备间的流转时间,提高设备利用率;Stocker控制系统可自动向MCS系统更新对应物料的位置信息,实现物料的统一管理,提高工作效率的同时减少人员工作强度。

  Stocker内部可达到较高的洁净度◆◆★★,能够满足物料存储对洁净度的要求,同时库存和物料流动的实时追踪有助于快速定位和解决潜在问题★■■★■◆,进而提升产品质量■■◆★、实现制造过程的可追溯性。

  众所周知★◆■■★,从早期的6英寸晶圆厂■★,到如今的8英寸■★★■■、12英寸厂成为主流,半导体制造工艺越来越先进◆■,产线中的工序成倍增长◆◆★■★■,关键机台的吞吐量也在一代代的更迭中迅速增加,传统人力在产线设备间的物料搬运,成为制约生产效率和生产质量的瓶颈。也因此,AMHS从8英寸厂开始显露头角◆■■◆■■,在12英寸厂中成为标配。

  与常规交付相比,此次项目的工期非常紧■■■◆◆,格创东智临危受命■■◆,紧急协调各种资源,组建专业项目团队,与客户紧密沟通,快速实现Stocker的调试/交付(第一台Stocker从客户PO下发到现场交付仅仅15天◆◆■◆,这个效率在业界是绝无仅有的),非常及时、高效地支撑了客户产能的提升,并取得了客户的高度认可。

  通过导入格创东智Stocker,自动化存储、提取和传送各种规格的晶圆料盒,该头部12吋晶圆厂实现了高效自动化物料存储扩产的需求。

  Stocker专为洁净车间设计,与OHT等自动化设备的协同作业构建起高效的自动物料搬运存储系统AMHS■◆◆◆■,根据生产计划和需求来优化物料流动。

  Stocker能够充分利用洁净车间的闲置面积及垂直空间■◆■◆◆★,在相同占地面积中提高仓储容量,从而提高空间利用率。

  根据无尘室可利用空间,格创东智灵活定制各类型Stocker,实现空间最大化★◆◆■■◆。

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